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  • 快速退火爐RTP600

    紅外加熱爐,快速退火爐RTP600專為半導(dǎo)體高溫處理設(shè)計，支持500℃~1000℃范圍內(nèi)的氧化/擴散/快速退火工藝，采用雙層21×1kW高功率燈管，實現(xiàn)150℃/s極速升溫控制，通過水冷鋁質(zhì)外殼、石英內(nèi)腔確保溫度均勻性，兼容2~6英寸晶圓片，結(jié)合精密氣體控制提供高效解決方案。

    更新日期：2025-12-04
    訪問量：4363
    廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
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