根據(jù)客戶需求，果果儀器為中國科學院微電子研究所定制了探針熱臺，該產(chǎn)品采用電阻加熱的方式，提供RT~200℃溫度范圍內(nèi)的精準控制,實現(xiàn)樣品在真空環(huán)境下的變溫觀察及測試。同時，提供多語言SDK（如Labview、C#等），賦能客戶實現(xiàn)高效定制化集成。

產(chǎn)品主要技術(shù)規(guī)格:

加熱方式：電阻加熱

溫控范圍：RT~200℃

溫度穩(wěn)定性：±0.1℃

最大升溫速率：50℃/min@RT

光路：反射光路

視窗材質(zhì)：石英玻璃（可拆卸，根據(jù)實驗需求更換視窗）

視窗尺寸：φ25mm

探針數(shù)量：30個

電學接口：BNC或多芯航插

樣品臺面電位：電懸空

樣品臺尺寸：5cm*5cm

樣品臺材質(zhì)：不銹鋼/銅

腔室：真空

果果儀器定制探針熱臺應用現(xiàn)場: